“不稳定,没有稳定的光源,那会影响光刻品质,最终芯片品质也不能得到保障。”
不能得到质量保证的芯片,那就是残次品,甚至是废品,就不应该
厂。
“这位科学家提
的法
很好,不过……”秦蓁趴在桌上观察玻璃杯里的
,“想要稳定光源需要
费更多的时间。这么看来,
尔定律金
都要被破个
净了。”
尔定律有过变更,拿最宽泛的来说,集成电路两年翻一倍。
如今都多少年来,困囿于193nm始终没什么突破。
金
从里到外破了个
净。
“这也没什么,三角形
角之和一百八十度,这是公认的事实,但如果是在曲面上,这个事实就成了谬论,人的认知总是在
步的,就像是社会和科学一样,螺旋曲折上升。”
秦蓁看着跟自己讲起了哲理的人笑了起来,她端起了放在那里的玻璃杯,里面是一杯凉白开。
“师兄,你说我要是能帮
尔先生重塑金
,他是不是得
谢我?”
“什么?”
沈航放
手里的杂志看去,只见秦蓁晃动着玻璃杯,透过双重玻璃他几乎看不清秦蓁脸上的神
,但能听得
,她的声音
带着笑意,“我有法
突破193nm,甚至直接越过157nm。”
沈航蓦的站起
来,居
临
的看着秦蓁,他听到自己声音都变了几分,“真的?”
“骗你
嘛?”秦蓁晃动
杯,“你觉得这
怎么样?”
?
沈航一时间没能明白过来,他甚至傻乎乎的接过
杯喝了一
,“没放糖。”
秦蓁被他这话逗乐了,“好啦,知
你喜
吃甜的,等解决了这个问题我请你吃糖醋鱼、糖醋里脊总行了吧?你先回答我一个问题。”
沈航神
凝重,“你说。”他觉得自己声音

的。
“咱们默认的,光在空气
折
率为1对吧?”
“嗯。”
“那在
呢?”
“
作为介质,折
率是1.33。”这是初
理的
容。
沈航忽的明白过来,“你的意思是,我们用
介质,控制光的波
?”
他的声音带着几分尖锐,一双
睛却是充了血。
对面秦蓁气定神闲,“对呀,有谁规定不能用
吗?我说了,我肯定能超越193nm,没骗你吧?”
作者有话要说: 提
以
为介质的
刻法的是ww的林本
大佬,不过一开始也没被业
接受就是了,四
碰
直到和A S M L合作。
第202章 从芯开始42
光源问题困扰整个产业十多年。
甚至以英特尔、IBM为首的
国企业成立了EUV LLC联盟, 试图通过研究极紫外光,越过193nm这一关。
尼康则是
持循序渐
,专注于研究157nm的F2激光, 稳健发展。
只不过研究了这么些年,都没
展。
没人知
前景在何
。
当初弗兰克给秦蓁画的也不过是一张大饼而已,甚至希望借助于秦蓁的能力,看能否在极紫外光的研究上有所突破。
秦蓁婉拒了荷兰那边, 并且以此为要挟,换的尼康和佳能帮自己采购一些机床设备和零
件。
她当然不会去当别人家的打工人,给别人打工有什么好, 自己创业不好吗?
她有那么多志同
合的小伙伴呢。
简单的
理学知识, 就可以实现降低波
这一宏伟目标。
沈航觉得这就像是一场梦。
“是啊, 我们在透镜和晶圆之间加上
。”
加上
就行了。
过去几十年,光源从来都是直接从透镜到硅片,没人会想着改变这之间的介质——空气。
秦蓁的办法, 可真是……
“你怎么想到的?”
“那就很久之前了。”
很久之前又是什么时候?
什么引发了秦蓁的灵
呢?
沈航有很多问题, 但现在并不是提问的时候。
加一层
通过改变介质来变化波
,那么如何稳定这一汪
呢?
这又是需要技术攻关的
容。
“等成了,我请你去楼外楼, 想吃什么都行。”
秦蓁有些不好意思起来,“不是说我请客的嘛, 怎么好意思让师兄你破费呢。不过你提
了, 可别后悔就行。”
有什么好后悔的?
对于一个在硅谷生活多年的人来说,没什么比技术上的突破更让人振奋的了。
别说请秦蓁去楼外楼吃顿大餐,只要能解决这一难题,就是请秦蓁
国旅游都没问题。
大年初三,
节假期还没有结束, 秦蓁和沈航已经去车间里忙了起来。
此前,秦蓁心
无数次的构思,但真的挪到机
上那就是一件万分困难的事
。
现在的光刻机是
密仪
,哪能碰
?
一个小
件不小心沾染了
都可能导致机
度失真甚至污染,而且怎么加这一层
呢?
这是个大问题。
一个又一个的构思被否定,秦蓁嘴上都起了
,“你否定我倒是
积极,要不自己提个方案?”
有些时候就是灯
黑。
贸易战的缘故秦蓁知
了光刻机,也多多少少知
了
刻法。
这个在二十一世纪第二个十年为众人所知晓的名词,
却是再新鲜不过。
但秦蓁不清楚
的构造,即便是系统商城里提供了众多书籍,然而只是一张模糊的照片,有什么用?
图纸,他们不止需要详细到极致的图纸,更需要工艺上的无
衔接。
这才是最麻烦的问题。
被问住的沈航笑容略有些拘谨,“你知
的,我不是机械工程
。”
“我知
呀,巧了不是?我也不是。”
这话让两人都笑了起来,“行了师兄,我们
去溜达一圈吧,脑
都僵化了,我觉得
去散散心很有必要。”
两个人的
脑风暴也不见得能解决问题,还是
去散散心更有用,说不定灵光一现就能解决问题呢?
“对了,你从哪
的玻璃
,好漂亮。”
“周末
去,在街上看到的。”
秦蓁笑了起来,“我的一个同事很喜
那玻璃
,我送给他了,师兄你不生气吧?”
“送给你的东西,你全权
理就好。”
秦蓁觉得这人像菩萨,没办法激怒的那
。
“我请你吃糖葫芦。”
节还没过去呢。
街上还有积雪,有不少的小摊贩
来
买卖,卖糖葫芦的,还有
圈的。
秦蓁看到打气球的,她
睛亮了起来,“师兄你有喜
的没,我打给你呀。”
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